Selektive Messung der Dicke
von einzelnen Folienschichten

Selektive Messung der Dicke von einzelnen Folienschichten
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Das OCT- Bild zeigt eine metallische Schicht von 25 nm Dicke auf einem Kunststoffträger.
11.07.2016 | Ein einzelnes Vollbild des ASP Arrays besteht aus 300 * 300 axialen Interferogrammen, die sich seitlich berühren. Mit der Lichtlaufzeitmessung wird die Flugzeit reflektierter oder gestreuter Photonen von einer Objektoberfläche mit der eines Referenzstrahls gemessen, sodass die relative optische Wegstrecke als axiales Tiefenprofil ausgewertet werden kann.

Das am Messobjekt  reflektierte und gestreute Licht gelangt wieder über den Strahlteiler zum Sensor zurück, nachdem sich das Licht vom Objekt, am Strahlteiler, mit dem Licht, das vom Referenzarm reflektiert wird, vereint hat. Der Sensor empfängt also interferierende Lichtfronten als Funktion der Bedingungen auf dem Objekt. (Oberflächentopografie, Schichtdicke) Unterschiede in der Oberflächengeometrie oder in der Materialdicke, Streuung oder Reflektion werden vom Sensor mit einer sehr hohen Geschwindigkeit gemessen. Der Messkopf hat die Abmessungen von 70 mm * 55 mm * 200 mm und ist etwa 500 Gramm schwer. Im Messkopf sind eingebaut:
  • die Optik (anpassbar an die gestellte Messaufgabe)
  • die Lichtquelle zur Erzeugung der Lichtfront
  • das ASP-Array (Aktives Sensor Pixel Array)  mit 300 * 300 Bildelementen
  • das Spektrometer
  • die Signalvorverarbeitung
  • ein FPGA

 
Ist der Messkopf am Netz angeschlossen und über die USB-Schnittstelle mit dem Rechner verbunden, können bereits Messungen ausgeführt werden. Der robuste Messkopf kann auf alle Manipulatoren aufgebaut werden und ist kaum anfällig auf Vibrationen oder Bewegungen des Objektes.

Vorteile der OCT- Messverfahren sind:
 
Berührungslos
Zerstörungsfrei
Hohe Störsicherheit (passiv wie aktiv)
Hohe geometrische Auflösung
Schnelle Datenerfassung
Geringer Platzbedarf

 


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