Die Vermessung geometrischer Formen kleinster Bauteile, von Schichtdicken oder Unebenheiten mit Licht gehören heute zum Stand der modernen Industrie. Die Vermessung mit Licht arbeitet berührungslos , sehr schnell und extrem genau.
Eine zweidimensionale Lichtfront wird von einer Lichtquelle ausgesendet. Die Lichtfront wird an einem Strahlteiler auf enen Referenzarm geleitet und auf das Objekt.
Das am Messobjekt reflektierte und gestreute Licht gelangt wieder über den Strahlteiler zum Sensor, nachdem die Lichtfront im Strahlteiler mit dem Referenzlicht, das vom Spiegel reflektiert wird, interferiert. Der Sensor empfängt die interferierenden Lichtfronten als Funktion der optischen Bedingungen auf- oder im Objekt.
Auf diese Art lassen sich kleinste Unterschiede in der Geometrie, in der Streuung oder in der Reflektion erfassen und mikrometergenau auswerten.