Die Halbleiterfertigung ist auf extrem saubere Umgebungen angewiesen, um hochwertige Siliziumwafer für Anwendungen wie Telekommunikation, Gaming und Industrieelektronik herzustellen. Während der Handhabung und Lagerung von Wafern muss eine Kontamination vermieden werden, um hohe Erträge zu erzielen. FOUPs (Front Opening Universal Pods) werden zur vorübergehenden Lagerung von Wafern und zu deren Transport zwischen den einzelnen Prozessschritten verwendet. Um die Wafer vor Feuchtigkeit, Partikeln und Sauerstoff zu schützen, die zu Oxidation führen und die Leitfähigkeit beeinträchtigen können, werden FOUPs mit ultrahochreinem (UHP) Stickstoff oder sauberer trockener Luft gespült. Eine präzise Steuerung dieses Spülprozesses ist entscheidend für konstante Leistung und Kosteneffizienz.Anwendungsanforderungen
FOUP – Load Port Anwendung
FOUP-Systeme, einschließlich Overhead Buffers (OHB) und Load Ports, spielen eine entscheidende Rolle bei der Wafer-Handhabung. Die Sauberkeit während dieser Schritte wirkt sich direkt auf die Produktausbeute aus. Der Spülprozess muss Verunreinigungen minimieren und gleichzeitig einen stabilen und wiederholbaren Gasfluss gewährleisten. Lieferanten von Halbleiterausrüstung benötigen präzise Durchflussregelungslösungen, die sich in kompakte Designs einfügen und strenge Sauberkeitsstandards erfüllen.
Wichtige Aspekte- Kostenoptimierung
- Kompaktes Design zur Reduzierung der Stellfläche
- Kontrollierte und rückverfolgbare Fertigungsprozesse
- Genauigkeit und Wiederholbarkeit für gleichbleibende Spülleistung
Die Lösung
Bronkhorst-Massendurchflussregler werden zur Überwachung und Steuerung des Spülstroms von UHP-Stickstoff oder sauberer Luft in FOUP-Systemen eingesetzt. Ältere Fabs verwenden in der Regel saubere Trockenluft, während neuere Fabs UHP-Stickstoff für eine verbesserte Sauberkeit bevorzugen. Die Regler sorgen für einen präzisen und stabilen Durchfluss, der für die Aufrechterhaltung der Wafer-Integrität und die Verhinderung von Oxidation unerlässlich ist. Durch die Integration dieser Geräte können Halbleiterausrüstungslieferanten eine zuverlässige Spülleistung erzielen, den Gasverbrauch optimieren und die strengen Standards einhalten, die in der modernen Waferfertigung erforderlich sind.
„Bronkhorst bietet uns die Präzision, die wir für eine zuverlässige FOUP-Spülung benötigen.“