Bronkhorst liefert fortschrittliche Massendurchflussregler, die einen stabilen und genauen Gasdurchfluss gewährleisten und so optimale Prozessbedingungen und eine hervorragende Produktqualität ermöglichen.
Anwendungsanforderungen
Der Einsatz von Durchflussreglern für die Wasserstoffgasversorgung kann den MOCVD-Prozess und damit die Produktqualität verbessern. Stabile Durchflussbedingungen und eine schnelle Reaktion des Durchflussreglers auf Änderungen der Einstellungen
sind hier erforderlich.
Wichtige Aspekte
- Präzision und Stabilität bei der Regulierung des Wasserstoffdurchflusses
- Schnelle Reaktion mit metallisch abgedichteten Durchfluss- und Druckreglern
- Umfassender Service und Kundensupport?
Die Lösung
Durchflussregelung in MOCVD Anlage
Um die Qualität des MOCVD-Prozesses – und damit die LED-Ausbeute – zu verbessern, liefert Bronkhorst EL-FLOW Metal Sealed-Durchflussmessgeräte zur Integration in MOCVD-Anlagen.
Diese Regler regulieren den Durchfluss des Wasserstoff-Trägergases, der für die Prozessstabilität von entscheidender Bedeutung ist. Die Durchflussrate wirkt sich direkt auf die Abscheidungsrate von LED-Komponenten aus, weshalb eine präzise Steuerung unerlässlich ist.
Für diese Anwendung werden EL-FLOW-Regler in verschiedenen Größen eingesetzt, von kleinen Einheiten für 20 sccm bis hin zu größeren Einheiten für 20 slm. Ihre Metall-auf-Metall-Dichtung gewährleistet eine zuverlässige Wiederverschließbarkeit, und die hochwertige Oberflächenbeschaffenheit erfüllt die anspruchsvollen Standards der Halbleiter- und Solarfertigung.
Darüber hinaus sind EL-PRESS Metal Sealed-Druckregler Teil der Anlage. Der Einsatz dieser Geräte sorgt für einen stabilen Wasserstofffluss mit schneller Reaktion auf sich ändernde Prozessbedingungen und unterstützt so eine gleichbleibende Leistung und eine verbesserte Prozesssteuerung.
Bronkhorst bietet als Full-Service-Anbieter Kalibrier- und Reparaturdienstleistungen an. Darüber hinaus führen wir Vor-Ort-Besuche durch, um Kunden hinsichtlich der optimalen Gerätenutzung zu beraten und Tipps zur Prozessoptimierung zu geben. Dieses Maß an Unterstützung ist von konkurrierenden Anbietern unerreicht.
„Bronkhorst kombinierte hochwertige Instrumente mit außergewöhnlichem Service und hob sich damit von anderen Anbietern ab.“