“Optical Coherence Tomography“
Vermessung von feinsten Bauteilen.

“Optical Coherence Tomography“  Vermessung von feinsten Bauteilen.
Grossansicht Bild
21.12.2015 | Das OCT-Verfahren ist validiert und steht zur Qualitäts- oder Prozesskontrolle respektive zur Verfahrensentwicklung im täglichen im Einsatz. Das neue Prüf- und Messverfahren arbeitet berührungslos, schnell und sehr genau, auch im industriellen Umfeld. Der Bericht beschreibt das OCT- Verfahren zur Vermessung der Bauteilgeometrie oder der Schichtdicke an Beispielen aus der Praxis.

Ein Bild der Lichtlaufzeitmessung besteht aus 300 * 300 axialen Interferogrammen, die einander seitlich berühren. Mit dem Verfahren wird die Flugzeit reflektierter oder gestreuter Photonen von einer Schicht mit der eines Referenzstrahls verglichen.


Die Interferogramme aus den zwei Armen (Messarm und Referenzarm) ergeben ein lineares Muster von Strukturen unterschiedlicher Helligkeit. Daraus wird die relative optische Wegstrecke als Tiefenprofil abgebildet.


Mit Rasterverfahren wird die Lichtebene transversal (in x- oder y- Richtung) geführt, sodass sich ein flächiges Tomogramm, das heisst, ein dreidimensionales Bild des Bauteils ergibt. Anders als bei der konventionellen Lichtmikroskopie ist bei der Lichtlaufzeitmessung nach dem OCT-Verfahren die transversale Auflösung von der lateralen Auflösung entkoppelt. Die laterale Auflösung (in der Ebene) wird durch die numerische Apertur der Optik bestimmt, die transversale Auflösung (z-Richtung) hängt dagegen von der spektralen Breite des verwendeten Lichts ab.


Auf dem ASP-Array (Active Sensor Pixel Array) sind die 300 x 300 „Interferometer“ auf einem CMOS-Chip aufgebaut. Zudem ist jeder Bildpunkt mit einer eigenen Optik und mit einer eigenen Signalvorverarbeitung ausgerüstet, sodass mit dem Chip 106 fps (Frames per second) erfasst werden können.


Bewertung Ø:
   
Meine Bewertung:

Fragen und Kommentare (0)