Deutscher Zukunftspreis 2020 für EUV-Lithographie

Deutscher Zukunftspreis 2020 für EUV-Lithographie
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05.12.2020 | Der Deutsche Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier hat in Berlin das Projekt „EUV-Lithographie – neues Licht für das digitale Zeitalter“ mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 ausgezeichnet und die beiden weiteren nominierten Projekte gewürdigt.

Bei der Preisverleihung am Abend überreichte der Deutsche Bundespräsident den Entwicklern Dr. rer. nat. Peter Kürz, Dr. rer. nat. Michael Kösters und Dr. rer. nat. Sergiy Yulin den mit 250.000 Euro dotierten Zukunftspreis 2020. Das Team hat einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung einer Technologie geleistet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit äußerst feinen Strukturen fertigen lassen. Durch die Nutzung von Licht im extremen Ultraviolett (EUV) haben die Wissenschaftler die in der Chipfertigung etablierte Methode der optischen Lithographie auf eine neue Stufe gebracht. Entstanden ist ein optisches System aus Spiegeln mit einer besonderen Beschichtung. Ein weiterer Bestandteil ist der derzeit stärkste industrielle CO2–Laser, mit dem das Plasma für die EUV-Strahlung erzeugt wird.

 

Auf diese Weise lassen sich Mikrochips herstellen, die besonders leistungsfähig, energieeffizient und kostengünstig sind. Die Mikrochips dieser neuen Generation werden von den führenden Herstellern von Smartphones und Halbleiterprodukten bereits eingesetzt. Es ist absehbar, dass sich ihre Anwendung in den Bereichen der Informationstechnik als Standard etablieren wird.

 

Dr. rer. nat. Peter Kürz ist Vice President Geschäftsbereich EUV High-NA bei ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology in Oberkochen,  Dr. rer. nat. Michael Kösters Gruppenleiter bei TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing in Ditzingen und  Dr. rer. nat. Sergiy Yulin ist Senior Principal Scientist am Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena.

 

Der Bundespräsident würdigt mit dem Deutschen Zukunftspreis herausragende Forschungs- und Entwicklungsprojekte. Wesentlich für die Entscheidung der Jury sind der wissenschaftlich-technische Innovationsgrad sowie das Potenzial, diese Leistung in zukunftsfähige Arbeitsplätze umzusetzen.

Video/Präsentation:

Ebenfalls für den Deutschen Zukunftspreis 2020 nominiert waren:

Prof. Dr. med. Andreas Raabe, Inselspital Bern, Universitätsklinik für Neurochirurgie, Bern, Schweiz, Dr.-Ing. Michelangelo Masini und Frank Seitzinger, MBA, Carl Zeiss Meditec AG, Oberkochen, für ihr „Robotisches Visualisierungssystem – Effizienz für die Mikrochirurgie“ sowie Dipl.-Ing Friedbert Scharfe, Franken Maxit Mauermörtel GmbH & Co., Kasendorf, Prof. Dr.-Ing. Thorsten Gerdes, Universität Bayreuth, Keylab Glastechnologie, Bayreuth, und Dr. rer. nat. Klaus Hintzer, Dyneon GmbH, Burgkirchen, mit ihrem Projekt „Spritzbare Fassadendämmung mit Glass Bubbles – nachhaltige, energieeffiziente Isolation von Gebäuden“. Sie wurden von Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier mit einer Urkunde geehrt und durch die Jury in den „Kreis der Besten“ des Deutschen Zukunftspreises aufgenommen.

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