Sputter Chamber

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Abgabetermin: 21.05.2019 - 14:00 Uhr

Auftragsart: Lieferung

Archiv | 05.04.2019 | Das Labor Fügetechnologien und Korrosion der Empa plant den Bau einer einzigartigen Forschungsausrüstung, bestehend aus einem Zweistrahl-Hartstrahl-Photoelektronenspektrometer (HAXPES), das an Umweltverarbeitungskammern (ERC) gekoppelt wird, um Dünnschichtabscheidung und -nachbehandlung, chemische Behandlungen und die Einwirkung rauer Umgebungsbedingungen zu ermöglichen. Ziel dieser Ausschreibung ist es, eine Dünnfilm-Abscheidekammer durch Magnetronsputtern zu erwerben, die mit einem Instrument zur in-situ Spannungsüberwachung sowie einem speziellen Manipulator für die in-situ Nachglühung in oxidierenden Umgebungen ausgestattet ist. Die Sputterkammer wird ein integrierter Bestandteil des HAXPES-ERC-Systems sein.

 

Bedarfsstelle/Vergabestelle:
Empa

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