Magnetron Sputter Kammer

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Abgabetermin: 12.08.2019 - 14:00 Uhr

Auftragsart: Lieferung

Archiv | 02.07.2019 | Eine UHV-Kammer, die in der Lage ist NbSn & NbTi(N) mittels Magnetron Sputter Verfahrens abzuscheiden. Zu späterem Zeitpunkt soll die Anlage um die Möglichkeit des thermischen Verdampfens mittels Knudsenzellen erweitert werden. Die Erweiterung selber fällt in die Verantwortung der ETH und ist nicht Teil dieser Ausschreibung. Sauberkeit der Anlage von Wasser und Sauerstoff ist essentiell.


Die neue Anlage soll in das MBE Labor integriert werden mittels eines UHV Tunnels, der zur Zeit an der Eth konstruiert wird. Der Probentransfer und Manipulator basieren auf dem an den MBEs verwendeten Veeco-Design. Dies soll Interoperabilität mit den MBEs garantieren. Der Manipulator wird von der ETH zur Verfügung gestellt.

 

Bedarfsstelle/Vergabestelle:
ETH Zürich

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Rubriken: Design, Sauerstoff