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Apparat zum Silizium-Tiefenätzen (Deep-Silicon Etching)

Archiv | Abgabetermin 03.08.2020 | Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center CMi ein Werkzeug zum Silizium-Tiefenätzen zu erwerben. Besonderes Gewicht wird nicht nur auf die Qualität des Ätzens gelegt, sondern auch auf die...
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