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Öfen für chemische Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)

Archiv | Abgabetermin 08.06.2020 | Die EPFL beabsichtigt Öfen für chemische Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD) für ihr Zentrum für MikroNanotechnologie (CMi) zu erwerben. Die Anlage wird auf dem neuesten Stand der Forschung in...
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