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Magnetron Sputter Kammer

Archiv | Abgabetermin 12.08.2019 | Eine UHV-Kammer, die in der Lage ist NbSn & NbTi(N) mittels Magnetron Sputter Verfahrens abzuscheiden. Zu späterem Zeitpunkt soll die Anlage um die Möglichkeit des thermischen Verdampfens mittels...
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