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Supraleitende Abscheidekammer

Archiv | Abgabetermin 07.05.2019 | UHV-Kammer, die zur Metallabscheidung durch Magnetronsputtern und thermische Verdampfung geeignet ist. Zweck ist die Abscheidung dünner supraleitender Schichten. Aluminium und Zinn sollen unter...
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