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Kleinste Oberflächensensoren mittels MEMS-Technik

Archiv | 07.05.2011 | Wie rau, wie eben, wie hart, wie verformbar? Exakte Oberflächenmesstechnik ist in vielen Bereichen der Forschung und Produktion von großer Bedeutung. Vor allem in der Mikrosystemtechnik und der...
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