Licht im Fokus der Messung

Licht im Fokus der Messung
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Konfokolar Sensor zur Geometriemessung in Bohrlöcher ab 4 mm Durchmesser
09.11.2009 | Wegmessung mit konfokal-chromatischen Sensoren ist seit 10 Jahren bekannt und erobert seither immer mehr Anwendungsgebiete. Mit den ersten Produkten dieser Technologie waren die Sensoren nur in einer Größenordnung von ca. 50 mm Durchmesser erhältlich. In der Zwischenzeit entwickeln sich die eingesetzten Linsen immer weiter, so dass Sensoren bereits ab 4 mm Durchmesser erhältlich sind.

Jede Form von Licht setzt sich aus vielen verschiedenen Wellenlängen (einem Farbspektrum) zusammen. Weißes Licht ist eine Überlagerung aller sichtbaren Wellenlängen. Der für den Menschen sichtbare Bereich beginnt bei 400 nm (Blau) und endet bei 700 nm (Rot). Die verschiedenen Wellenlängen können von Linsen nicht alle in genau einem Punkt gebündelt werden. Man spricht vom chromatischen Linsenfehler oder der chromatischen Aberration. Diese kann mit der Tiefenschärfe von Mikroskopen oder Kameras verglichen werden. Genau dieser Effekt wird in der konfokalen Messtechnik genutzt. Mit speziellen Linsen wird gezielt die Unschärfe des Brennpunkts der verschiedenen Farben erweitert. Das heißt je nach Abstand zur Linse befindet sich genau eine Wellenlänge im Fokus. Nur diese Information wird zur Messung herangezogen.

Um die gezielte chromatische Aberration zu erreichen, sind im Sensor mehrere Glas-Linsen nötig, die das Licht je nach Messbereich aufspalten. Vor dem Austritt des Lichts aus dem Sensor werden über Sammellinsen die Farbspektren entlang einer Linie gebündelt, so dass eine exakte Fokuslinie erreicht wird.

Weißes Licht wird über einen Lichtwellenleiter aus dem Controller zu den Linsen im Sensor geleitet. Dort tritt die oben beschriebene gezielte chromatische Aberration ein. Die Wellenlängen werden von der Oberfläche eines Targets reflektiert und gelangen über die Linse zurück zum Controller auf den semipermeablen Spiegel. Der Spiegel lenkt die Wellenlängen auf eine Lochblende, welche die am besten fokussierten Wellenlängen mit der höchsten Intensität durchlässt.

Unscharfe Spektren treffen an der Lochblende als Scheibchen auf und nicht als fokussierter Punkt. Die fokussierte Wellenlänge besitzt genügend Intensität, um auf der CCD-Zeile einen signifikanten Peak zu erzeugen.

Nach der Lochblende wertet ein Spektrometer die erhaltene Farbinformation aus. Darin befindet sich ein optisches Gitter, das je nach Wellenlänge eine mehr oder weniger starke Ablenkung der Wellenlänge auf eine CCD-Zeile erzielt. Jede Position auf der CCD-Zeile entspricht einem bestimmten Abstand des Targets zum Sensor.

Für die Signalgewinnung wird nur die Wellenlänge ? ausgewertet. Eine Höhe der Amplitude I wird bei der Signalauswertung nicht in Betracht gezogen. Die Stärke der Intensität spielt keine Rolle.

Das bedeutet, egal wie viel Licht von einem Objekt reflektiert wird, eine Abstandsinformation kann fast immer gewonnen werden, da jede fokussierte Reflexion zu einem mehr oder weniger hohen Peak führt, solange das reflektiere Licht stärker ist als das Grundrauschen. Mit dem konfokalen Messprinzip kann auf hoch reflektierenden Materialien genauso zuverlässig gemessen werden, wie auf schwarzem Gummi oder auf transparenten Stoffen wie Gläsern oder Flüssigkeiten. Es gilt nur darauf zu achten, dass das reflektierte Licht auch wieder in die Linse gelangt.

Neue Technik, neue Möglichkeiten

Mit der Technik der konfokal-chromatischen Messung sind extrem hohe Auflösungen möglich. Durch das Aufweiten des Farbspektrums wird eine Auflösung im Nanometerbereich erreicht. Da für die Abstandsinformation die Farbe benutzt wird, die sich im Fokus befindet, besitzen konfokale Sensoren einen winzigen Messfleck, der auch Messungen auf besonders kleine Objekte ermöglicht. Selbst feinste Kratzer auf Oberflächen werden damit zuverlässig gemessen.

Der Strahlengang des Sensors ist kompakt und konzentrisch. Dadurch kann man mit dem System zum Beispiel auch in Bohrungen messen, was mit anderen optischen Methoden, wie dem Triangulationsverfahren, auf Grund der Abschattung nur schwer oder häufig auch gar nicht möglich ist. Besonders geeignet für solche Messungen sind die konfokalen Miniatursensoren optoNCDT2402, die einen Durchmesser von nur 4 mm haben.

Eine Weiterentwicklung der Miniatursensoren erlaubte es nun auch eine Innenwand-Inspektion in kleinen Bohrungen durchzuführen. Der spezielle Sensor mit radialer Messrichtung taucht dabei in Bohrungen ab 4,5 mm. Die eigens entwickelte Rotationseinheit dreht den Sensor mit bis zu 3.000 U/min. Eine Lineareinheit führt den Sensor in die Bohrung und ermöglicht das Messen einzelner Kreise oder das spiralförmige Erfassen der gesamten Bohrung.

Eine weitere interessante Möglichkeit ist die Dickenmessung von transparenten Folien, Platten oder Schichten. Im Gegensatz zu anderen Verfahren benötigt dieses Messverfahren für eine derartige Messung nur einen Sensor. Für die Messung werden die Reflexionen der Fokuspunkte auf der vorderen und hinteren Oberfläche ausgewertet. Da die Messung lediglich mit Weißlicht erfolgt, gelten dafür keine Laserschutzvorschriften. Die Sensoren können auch in explosionsgeschützten Bereichen und in EMV-anfälligen Anlagen verwendet werden. Der Sensorkopf selbst ist völlig passiv, in ihm befindet sich keinerlei Elektronik. Der Controller kann dazu in sicherer Entfernung platziert werden. Neuheit in auf dem Markt sind die Sensoren der Serie optoNCDT 2403, die sich beider Technologien bedienen. Der Sensor besteht aus einer Gradientenindex-Linse mit vorgesetzter Relais-Optik. Damit werden größere Grundabstände und Verkippungen als mit den Miniatursensoren erreicht. Der Sensor ist dabei mit 8 mm Außendurchmesser nur unwesentlich größer.

Spaltmessung bei der Produktion von Solarmodulen

Die Produktion von Photovoltaik-Modulen (PV) ist bisher ein sehr aufwändiger und kostenintensiver Prozess. Das Unternehmen Apollon Solar aus Frankreich hat ein neues Verfahren für die Fertigung von PV-Modulen entwickelt. Produziert werden die Anlagen bei dem französischen Anlagenbauer Vincent Industrie.

Bei dem unter dem Namen NICE (New industrial Cell Encapsulation) patentierten Verfahren werden die Solarmodule nicht mehr mit einer transparenten Kunststoffschicht verschmolzen. Mit dem NICE-Verfahren wird die Versiegelungsdichtigkeit des Modulverbundes und die Langzeitstabilität gegenüber herkömmlichen PV-Modulen deutlich verbessert.

Bei der Produktion der NICE-Module bildet ein Metallblech die Rückseite. Darauf werden die Solarzellen angeordnet und miteinander elektrisch verbunden. Anschließend werden Spacer aufgebracht, die einen Kontakt der Solarzellen und der Glasplatte als Abdeckung verhindern.  Eine spezielle Anlage presst die Glasplatte auf das PV-Modul und evakuiert diese dabei. Nach dem Pressen wird das PV-Modul durch den Unterdruck im Modul und dem außen anliegenden Atmosphären-Druck dauerhaft zusammengehalten. Das Glas ist ein spezielles Antireflex-Glas, das einfallendes Licht durchlässt, es aber an einer Reflexion hindert.

Wichtig beim Pressvorgang ist ein konstanter Abstand der Vorder- und Rückseite. Dafür werden Sensoren der Serie optoNCDT IFS 2402 eingesetzt. Integriert in die Presse messen sie an mehreren Positionen von einer Seite den Spalt zwischen Vorder- und Rückseite der zwischen 0,7 mm und 2 mm liegt. Mit Sensoren der Serie optoNCDT IFS 2402 ist es durch eine besonders hohe Licht-Intensität möglich trotz Antireflex-Beschichtung ausreichend große Reflexionen zu erhalten. Dank einer speziellen Multipeak-Software misst das konfokale Verfahren durch Glas hindurch dazwischen liegende Schichtdicken, wie bspw. den Luftspalt zwischen zwei Gläsern.

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